半导体行业耐高温滤芯
专为半导体和电子行业设计的,即使在极端条件下也能可靠的工作。
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概述
滤芯具有高纳污力、低压降以及耐高温的特性,是电子与半导体生产过程中的必不可少的支持条件。
对于0.2 micron的颗粒过滤效率大于99、99999995%且对于0.02 micron的颗粒过滤效率大于99.99999995%, 依据 DIN EN 1822标准。可有效过滤纳米级污染物,0.003 um 的过滤效率大于99.999999991%
滤材外包裹不锈钢支撑层,可经高温蒸汽超过161次(实验室工况下),且正向或反向耐压强度高。
特点
高效截留最小可至3nm的细菌,病毒和颗粒杂质,确保产品质重达到监管要求。
耐高温和机械阻力,有效的减少生产停机时间,从而降低维护成本。
适用于使用VPHP和臭氧进行灭菌,降低运维成本。
应用
半导体和电子行业